3년간, 총 13억원 연구비지원…반도체 초미세화에 필요한 신소재 개발
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이번 사업에 선정된 과제는 ‘반데르발스 접근법을 이용한 초미세 MOSFETs용 초고유전체 및 반도체 계면제어 연구’로 연구책임자인 김의태 교수를 포함해 한밭대 이상엽 교수, 아주대 이재현 교수, 경상대 박준홍 교수 등 총 16명의 연구원이 참여한다.
연구팀은 기능성 반데르발스(van der Waals vdW) 소재의 반도체 표면에서의 직성장 공정 개발해 이를 이용한 게이트 유전체·반도체 계면특성 및 금속·반도체 접합특성 향상, 초고유전 특성을 가진 vdW 소재 발굴 및 차세대 게이트 유전막으로서의 응용성 확보를 위한 연구를 수행하게 된다.
김의태 충남대 교수는 “이번 연구를 통해 반도체 10㎚ 미만 초미세 집접회로에 필요한 신소재를 확보하고 소재분야기술 성장에 기여할 것으로 기대하고 있다”며 “대한민국이 초미세 반도체 분야를 선도할 수 있도록 소재 연구에 최선을 다하겠다”고 말했다.
‘기초연구실 지원사업’은 과학기술정보통신부와 한국연구재단이 주관하는 사업으로 신진 연구 인력을 포함해 창의적 주제 발굴·연구방법 등의 연구 노하우를 신진 연구자에게 전수하는 목적의 차세대 창의·융합형 인재양성 지원사업이다.
