포항시, 스위스 ICSCRM에서 최초 국산화 SiC 잉곳 성장장비 선보여

경북 포항시는 지난 11일 개최된 '국제실리콘카바이드 컨퍼런스(ICSCRM 2022)'에 참석해 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 웨이퍼용 잉곳 생산장비와 SiC 파우더 소재를 전시 홍보했다고 22일 밝혔다.

포항시는 경북도, 포스텍 나노융합기술원과 함께 차세대 SiC 전력반도체 국가경쟁력 확보를 위해 8인치 SiC 단결정 성장과 웨이퍼 제조 장비 기술 확보를 위해 2020년부터 3년째 진행 중인 '차세대전력반도체 소재개발 지원사업'의 성과물을 선보였다.

포스텍 나노융합기술원과 참여기업 ㈜에스티아이는 양산용 SiC 잉곳 장비(6인치)와 국내 최초 8인치 SiC 전력반도체용 잉곳을 제조할 수 있는 성장 로 개발에 성공했으며, SiC 잉곳 성장에 필요한 고 순도 분말(일본 A사 제품(99.8%) 대비 고 순도(99.9998%) 5N급 잉곳 파우더) 국산화도 가능해졌다.

이는 SiC 국산화에 반드시 필요한 SiC 잉곳 소재부터 장비까지 개발에 성공한 것으로 SiC 웨이퍼와 잉곳을 양산할 수 있는 체제를 마련해 선진국에 국한돼 있던 기술력 확보와 글로벌 시장에 진출이 가능케 하는 교두보를 확보한 것으로 기대된다.

한편, 포항시는 차세대 전력반도체 소재개발 사업 외에도 △전력반도체 중성자 테스트 국제인증기술 개발 △해외 우수연구기관(프라운호퍼 IISB) 지원사업을 추진하고 있으며, 지난 4월 산업 부 공모사업 선정으로 2022년부터 2024년까지 3년간 총 137억 5000만 원(국비 92.5억 원)을 투자해 와이드밴드갭 소재기반 전력반도체 제조공정 기반구축사업을 추진하는 등 차세대 전력반도체를 지역 주력산업으로 육성하고 있다.

이강덕 포항시장은 "SiC는 차세대 전력반도체의 핵심소재로 미래 신 산업의 원동력이고, 지역 기업의 상용화 기술 개발과 산업화를 위해 연구개발이 지속적으로 이뤄져야 한다"며, "포항시도 적극적인 지원으로 글로벌 기업 육성과 SiC 전력반도체 상용화 시스템을 구축해 나가겠다"고 밝혔다.