산업부 “삼성전자·하이닉스-ASML, 반도체 협력 강화”

한·네 첨단반도체 아카데미 신설 합의
삼성전자, ASML과 1조 규모 연구시설 공동 투자 발표
SK하이닉스, EUV 친환경적 활용 기술 공동 개발

ASML은 반도체 미세공정을 위한 극자외선 노광장비(EUV)를 생산하는 네덜란드 기업이다. 반도체 초격차는 미세공정 가능 여부가 핵심 요소 중 하나임을 고려할 때 해당 장비를 유일하게 생산하고 있는 ASML과의 긴밀한 파트너십 구축은 국내 반도체 경쟁력 강화를 위한 중요 과제라 할 수 있다.

이에 안덕근 산업통상자원부 통상교섭본부장이 12일 네덜란드 국빈 방문을 계기로 네덜란드 벨트호벤에 소재한 ASML사를 방문했다. 안 본부장은 양국 대표 반도체 기업들이 참여하는 '한·네 반도체 기업인 간담회'에 참석하고 네덜란드 통상개발협력 장관과 '한·네 첨단 반도체 아카데미' 신설을 위한 MOU를 체결했다.

간담회 주요 참석자는 이재용 삼성전자 회장·최태원 SK 회장·피터 베닝크 ASML 회장·벤자민 로 ASM회장·안드레아스 페처 자이스SMT 회장·루크 반 덴 호브 IMEC 회장 등이다.

아카데미가 신설되면 한국의 반도체 관련 학생들과 재직자들이 ASML 본사는 물론 에인트호벤 공대가 제공하는 교육 기회를 얻게 되어 EUV 등 첨단 장비 운영 노하우 및 관련 기술개발 역량을 키울 수 있게 될 것으로 기대된다.

아울러 ASML은 삼성전자와 함께 약 1조원을 투자해 차세대 EUV 장비를 활용하고 초미세 첨단반도체 공정기술을 개발하는 연구팹을 우리나라에 건립하는 협약을 체결했다. 또한 SK하이닉스와도 EUV 도입이 확대됨에 따라 EUV를 친환경적으로 활용해 에너지 소모량을 감축할 수 있는 기술을 공동 개발하는 내용의 협약을 체결했다.

안덕근 본부장은 "이번 삼성전자-ASML간 협력 발표는 치열해지는 반도체 초미세화 경쟁에서 우리나라가 우위를 확보하는 기반이 될 것"이라며 "SK하이닉스와 ASML이 공동 기술개발에 성공해 보다 친환경적인 반도체 장비 생태계가 구축되기를 기대한다"고 양국 기업에 사의를 표했다.

이후 안 본부장은 참석자들과 함께 ASML 클린룸 방문을 통해 최신 EUV 장비를 시찰했으며 "반도체 제조 강국 한국과 반도체 장비 강국 네덜란드간의 연대는 글로벌 반도체 공급망 강화와 기술혁신에 크게 기여할 것"이라며 "한·네 반도체 대화 신설을 통해 더욱 긴밀한 협력관계를 구축해 나갈 것"이라고 밝혔다.

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